《真空科学与技术学报》是由中国科学技术协会主管，中国真空学会主办的国家级自然科学技术刊物，创刊于1981年，是一本月刊，国内外公开发行。其办刊宗旨为：主要刊登真空技术、表面与界面物理与化学、表面分析、电子材料、薄膜物理与工艺、真空冶金、等离子体科学与工艺等方面的文章，促进科技事业发展。

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技术交流、学术论文、工业研究与应用、综述评论

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